硬度压痕表面积的共聚焦测量方法

发布时间：2021-08-26 10:27

　　提出了一种对角线长度小于20μm的硬度压痕表面积共聚焦测量方法。激光扫描共聚焦显微镜以0.1μm的间隔逐层对试样的压痕进行扫描测量,对全部数据集合的包络拟合获得压痕的三维数据。旋转平面法与法向量特征相结合精确提取压痕,通过三角网格构造算法得到压痕的表面积,进而计算出试样的硬度值。共聚焦测量方法与传统成像光学显微镜测量方法相比分辨率提升了30%,合成标准不确定度平均减小1 HV。实验结果表明:共聚焦测量方法实现了压痕表面积的高精度、高稳定性测量。 

【文章来源】：应用光学. 2020,41(06)北大核心CSCD

【文章页数】：8 页

【参考文献】：
期刊论文
[1]激光扫描在工件表面检测中的应用方法[J]. 龚海强,单奇,吴鹏飞,罗新河.  应用光学. 2019(04)
[2]自适应最优邻域尺寸选择的点云法向量估计方法[J]. 宣伟,花向红,邹进贵,贺小星,赵不钒.  测绘科学. 2019(10)
[3]大尺寸平面激光扫描补偿系统误差分析[J]. 郝春艳,高天元,劳达宝,周维虎,朱启凡.  应用光学. 2018(01)
[4]激光扫描共聚焦显微镜[J]. 李叶,黄华平,林培群,卢雪莲,李勤奋,郑勇奇.  实验室研究与探索. 2015(07)
[5]面向四面体网格生成的曲面Delaunay三角化算法[J]. 孟宪海,蔡强,李吉刚,杨钦,陈其明.  工程图学学报. 2006(01)



本文编号：3364070