三氯氢硅的安全生产

发布时间：2025-04-22 23:29

　　 三氯氢硅是生产多晶硅的主要原料,而高纯度的三氯氢硅是重要的硅外延片用电子特气,是制造电子元器件精密加工从而推动信息化和工业化深度融合的关键基础原材料。但三氯氢硅在空气中极易燃烧,其生产、检测、充装、仓储以及运输过程中都存在较大的安全风险。介绍了三氯氢硅的物性特点,从工艺设计、物料输送、生产管控、储存以及充装等方面进行全方位安全分析,并采取有效的防范措施和合理的建议,使安全风险降低到可控范围内,提升三氯氢硅的安全生产水平,确保三氯氢硅可以安全高效地应用于光伏及半导体行业。

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【部分图文】：

图6改造后气水混合器的结构图

图6改造后气水混合器的结构图

图2.11不同温度下氯气扩散距离曲线图

事故后果模拟在三氯氢硅生产装置安全评价中的应用研究温度影响分析速为1.5m·s-1只改变环境的温度，研究温度在-15℃-30℃范围内氯气的扩散RPG-1和ERPG-2浓度下氯气的扩散距离不随温度的变化而变化。由不同散距离曲线图可知：ERPG-3浓度下氯气的扩散距离随着....

图1.8以STC和TCS混合物为原料制备多晶硅流程图

用三氯氢硅进行改良西门子法生产多晶硅的工艺流程还是比较安全的,而且方便运输和储存,并且经过几十年的发展,不断对其进行改良,其形成了成套的技术流程,产品纯度高,能够满足生产电子级多晶硅的要求。虽然改良西门子法基本实现了H2、SiHCl3、SiCl4和HCl的循环利用,但是其循环系统....

本文编号：4040875