高精度电感测头的回程、径向误差检定夹具

发布时间：2021-08-18 09:46

　　<正>对于低精度电感比较仪误差的检定,典型的方法有立柱法、微动台架法和外力法、块规法。这些方法会引入大于0.05μm的误差,故在检定高精度电感比较仪时,为降低测量误差,笔者制作了一种回零准确度可达0.02μm的三坐标检具。一、装置原理三坐标检具由两组双片簧垂直配置而成,利用片簧的变形分别实现X轴方向和Y轴方向的位移,如图1所示。当测头装卡在Z轴方向时,推动或拉动上平行 

【文章来源】：中国计量. 2020,(07)

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【部分图文】：

结构原理

回程误差的检定


本文编号：3349658