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92. MEMS电容式加速度计敏感结构研究

93. 随钻测量用MEMS陀螺信号稀疏提取

94. MEMS数字加速度计测试系统研究

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96. MEMS数字陀螺中频率合成器设计

97. MEMS单兵导航系统强跟踪改进算法研究

98. MEMS振荡器的频率稳定技术研究

99. 太赫兹倍频及MEMS滤波技术研究

100. 基于MEMS技术的纳米孔研究及其应用

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