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991. 高性能RF MEMS全硅腔/基片集成滤波器工艺及可重构技术研究
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992. 基于MEM工艺耳廓修复永久性植入物的个性化设计与表面改性的研制
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993. 基于LM_BP神经网络模型的MEMS加速度计温度补偿方法研究
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994. 氮化铝兰姆波MEMS谐振器在滤波器及传感器方面的应用研究
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995. 基于硅纳米线的MEMS矢量水听器设计与微纳跨尺度制备工艺研究
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996. Model-based robust estimation and fault detection for MEMS-I
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997. 微机电系统(MEMS)促进航空航天仪表的发展 测控论文 自动化论文 测控技术文
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998. 基于MEMS传感器的物体运动参数解算误差分析及传感器适用性研究
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999. 《中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集》2004年
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1000. 视觉假体柔性微电极阵列的体外电化学稳定性评估与硅基碳MEMS微电极研制
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