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1011. 基于微观尺寸穿孔结构的
MEMS
器件下拉现象的研究
1012. 一种
MEMS
加速度计的噪声处理与参数训练方法
1013. 基于氮化铝薄膜的新型
MEMS
振动传感器
1014. 基于知识工程的引信用
MEMS
机构智能设计系统研究
1015. 基于
MEMS
电子听诊器的冠心病心音检测
1016. 双轴电热机械
MEMS
微镜的驱动臂交叉耦合模型
1017. 基于
MEMS
加速度计的水下目标触发探测器
1018. 电容式
MEMS
加速度计接口电路芯片研究与设计
1019. 一种用于
MEMS
超低值封装残余应力的测量方法
1020.
MEMS
数字陀螺中Zoom型模数转换器的设计
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