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1071. 一种基于
MEMS
的新型镂空压电悬臂梁能量采集器
1072. 可重构
MEMS
微波功率耦合器的设计及其可靠性研究
1073. 基于
MEMS
传感器的挖掘机姿态检测系统的研究
1074. 基于变面积电容传感的大量程
MEMS
加速度计加工工艺研究
1075. PZT薄膜的溶胶凝胶法制备及在
MEMS
中的应用研究
1076.
MEMS
微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现
1077. 基于
MEMS
滤波器芯片的X波段混频通道设计
1078.
MEMS
麦克风的低噪前置放大器及偏置电路设计
1079. 基于
MEMS
传感器的实时位置解算系统设计与实现
1080.
MEMS
陀螺仪的一种新颖高精度标定算法研究
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