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1071. 基于MEMS传感器的手持电动工具运动状态三维定位监测系统
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1072. 基于MEMS传感器的微型无人机飞行控制系统的研究
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1073. 基于MEMS惯性传感器的可穿戴式跌倒检测系统研究
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1074. 基于MEMS工艺的硅基毫米波铁氧体环行/隔离组件
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1075. 基于叉指电极的MEMS环境监测传感器关键技术研究
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1076. 面向MEMS产品概念设计的多模式实例检索与评价方法研究
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1077. 基于共面波导的RF MEMS可调带阻滤波器研究
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1078. 基于MEMS传感器的微小型无人机测控系统关键技术研究
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1079. 基于MEMS光源的三椭球体吸收腔室甲烷检测系统研究
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1080. 全球MEMS传感器技术创新现状与趋势——基于2000-2014年专利分析
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