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1081. 采用MEMS惯导的小口径管道内检测定位方案可行性研究
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1082. 基于MEMS技术的高密度视网膜假体柔性微电极阵列的研制
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1083. 基于反铁电薄膜的双稳态MEMS面内驱动器集成技术研究
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1084. 基于MEMS工艺的高场非对称性波形离子迁移谱仪的研究
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1085. 基于MEMS电容加速度计的声矢量传感器小型化设计
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1086. 基于MEMS的阵列式扫描探针显微镜测头理论与技术研究
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1087. 基于MEMS传感器的哑铃动作识别与能耗计算系统的设计与实现
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1088. 基于MEMS技术的仿生三轴向压阻矢量水听器的研制
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1089. 超声键合振动与层间热应力对MEMS器件影响的研究
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1090. 基于BLF技术的输出调节及其在MEMS扭转微镜中的应用
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