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1102. 基于UWB/MEMS-INS与电子地图的室内行人定位系统
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1103. 基于光谱反射技术的梯形刻面MEMS高深宽比沟槽深度测量仿真分析
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1104. 中芯国际与中科院微电子所签订MEMS研发代工平台合作协议
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1105. 基于C-MEMS的微纳结构的制备及其超级电容特性的研究
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1106. WiFi与MEMS-IMU融合定位方法在室内定位中的应用
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1107. 太赫兹体硅MEMS准对角喇叭天线及AIP系统虚拟仿真设计平台技术
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1108. 介电层粗糙对电容式RF MEMS开关down态电容退化的影响
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1109. MEMS多域耦合非线性宏建模的轨迹分段线性化方法研究
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1110. MEMS自动气象站远程数据处理、控制与可视化监测系统软件设计
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