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1111. 基于窄带水平集和蒙特卡洛方法的MEMS微加工工艺的三维仿真
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1112. 基于聚酰亚胺和硅基底的微型热式MEMS流量传感器研究
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1113. 利用MEMS惯性冲击器进行安全壳内气溶胶过滤的机理研究
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1114. 利用MEMS惯性冲击器进行安全壳内气溶胶过滤的机理研究
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1115. 面向冠心病早期无损诊断的MEMS电子听诊器与心音特征提取研究
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1116. 改进布谷鸟搜索算法优化支持向量机的MEMS陀螺温度零偏补偿
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1117. 改进提升小波阈值法在MEMS陀螺仪误差分析中的应用
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1118. 力热电相互作用下压阻式MEMS压力传感器的有限元模拟
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1119. 高可靠性RF MEMS单刀双掷开关设计及加工关键技术研究
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1120. 高可靠性RF MEMS单刀双掷开关设计及加工关键技术研究
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