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1141. 应用于外腔可调谐半导体激光器的MEMS静电驱动设计与仿真
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1142. 关键链技术在A研究所MEMS产品研制项目进度管理中的应用研究
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1143. MEMS加速度传感器全数字输出五阶静电力系统建模与仿真
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1144. 利用Butterworth滤波器平滑加速度计的双天线GNSS/MEMS组合测姿
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1145. 高性能RF MEMS全硅腔/基片集成滤波器工艺及可重构技术研究
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1146. 基于MEM工艺耳廓修复永久性植入物的个性化设计与表面改性的研制
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1147. 基于LM_BP神经网络模型的MEMS加速度计温度补偿方法研究
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1148. 氮化铝兰姆波MEMS谐振器在滤波器及传感器方面的应用研究
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1149. 基于硅纳米线的MEMS矢量水听器设计与微纳跨尺度制备工艺研究
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1150. Model-based robust estimation and fault detection for MEMS-I
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