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1151. 利用阳极键合封装MEMS器件所用离子导电聚合物开发
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1152. 基于MEMS加速度计和陀螺仪的倾角测量系统的研究
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1153. 基于MEMS的滑动轴承动压油膜3D检测方法的研究
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1154. 基于MEMS的声表面波器件设计与制作的关键技术研究
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1155. 基于MEMS技术的太赫兹可调波导带阻滤波器
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1156. 相控阵天线用4位分布式MEMS移相器研究
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1157. MEMS压阻式压力传感器倒装焊封装的研究和发展
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1158. 基于锁相环原理的MEMS硅陀螺闭环驱动电路设计
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1159. MEM（FDM）成型丝宽精度模糊控制系统设计及应用
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1160. 基于小波方差的MEMS IMU随机误差模型间接估计方法
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