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1181. 超声键合振动与层间热应力对MEMS器件影响的研究
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1182. 基于BLF技术的输出调节及其在MEMS扭转微镜中的应用
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1183. 面向MEMS真空封装的3D纳米支架基吸气剂的制备和性能研究
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1184. 基于MEMS技术的单刀双掷开关与可重构天线阵列的研究
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1185. 基于MEMS传感器的机器人示教空间运动跟踪系统研究
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1186. 低成本MEMS-INS/GNSS组合导航动基座初始对准技术研究
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1187. 基于GNSS航向微分和MEMS陀螺仪的农机轮角测量方法
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1188. 利用声子晶体减小锚点损耗的高频MEMS谐振器的性能研究
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1189. 基于软件接收机的MEMS-IMU/卫星深组合导航系统研究
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1190. 基于MAA全温滞后模型的MEMS陀螺仪零偏补偿技术
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