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112. 基于MEMS技术的三维无线运动控制研究

113. MEMS器件工艺特性及其性能测试的研究

114. 基于MEMS微型发动机的装药选择

115. MEMS涂层接触问题的有限元分析

116. 基于自适应滤波的MEMS姿态确定方法

117. MEMS陀螺旋转导航误差的分析与仿真

118. W波段MEMS腔体滤波器

119. MEMS器件分层失效的强化试验技术研究

120. 差分型MEMS矢量水听器的研制

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