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1191. 石墨烯太赫兹MEMS超材料频谱调制器的设计
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1192. 桌面化快速成形系统MEM200-D设计与动态结构优化
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1193. 应用于硅基MEMS安全系统的电热致动器研究
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1194. 基于MEMS传感器的大量程高精度倾角仪设计
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1195. 基于MEMS可调电容和电感器的可调谐天线研究
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1196. 基于MEMS技术二维磁场/压力传感器单片集成化研究
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1197. 基于MEMS惯性测量单元的多功能稳定平台关键技术研究
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1198. 面向5G通信应用的射频MEMS开关设计与制造关键技术研究
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1199. 基于增敏结构的热丝式MEMS矢量水听器研究
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1200. 基于MEMS工艺的气体传感器微热板设计、制作与测试
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