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1201. MEMS中氮化硅电介质的空间应用可靠性研究
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1202. 基于MEMS与GPS的微小型航姿系统设计与实现
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1203. 基于联合去噪方法的MEMS矢量水听器信号去噪
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1204. 分布式RF MEMS移相器热致封装效应研究
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1205. 抑制面内振动干扰的仿生MEMS三维矢量水听器研究
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1206. MEMS存储设备在计算机系统中应用的关键技术研究
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1207. 引信用双阈值MEMS万向惯性开关的结构设计与分析
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1208. 基于MEMS的近红外光谱仪控制方法研究与开发
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1209. 基于MEMS技术磁场/压力/加速度传感器集成化研究
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1210. 激光—微笔/微喷直写集成制造MEMS微结构关键技术研究
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