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1251. 基于MEMS的可重构天线及多频天线的关键技术研究
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1252. 一种基于MEMS的新型镂空压电悬臂梁能量采集器
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1253. 可重构MEMS微波功率耦合器的设计及其可靠性研究
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1254. 基于MEMS传感器的挖掘机姿态检测系统的研究
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1255. 基于变面积电容传感的大量程MEMS加速度计加工工艺研究
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1256. PZT薄膜的溶胶凝胶法制备及在MEMS中的应用研究
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1257. MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现
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1258. 基于MEMS滤波器芯片的X波段混频通道设计
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1259. MEMS麦克风的低噪前置放大器及偏置电路设计
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1260. 基于MEMS传感器的实时位置解算系统设计与实现
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