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1271. 基于97单元MEMS变形镜的自适应光学系统SPGD算法实现
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1272. 振动式MEMS与接口电路的系统级协同设计方法与关键技术
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1273. MEMS惯性传感器并行测试数据的采集系统设计与降噪处理方法
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1274. 基于MEMS传感器的手持电动工具运动状态三维定位监测系统
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1275. 基于MEMS传感器的微型无人机飞行控制系统的研究
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1276. 基于MEMS惯性传感器的可穿戴式跌倒检测系统研究
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1277. 基于MEMS工艺的硅基毫米波铁氧体环行/隔离组件
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1278. 基于叉指电极的MEMS环境监测传感器关键技术研究
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1279. 面向MEMS产品概念设计的多模式实例检索与评价方法研究
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1280. 基于共面波导的RF MEMS可调带阻滤波器研究
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