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121. 基于AlN压电薄膜的耐高温声表面波传感器的研究与制作
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122. 基于AlN压电薄膜的耐高温声表面波传感器的研究与制作
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123. 基于AlN压电薄膜的耐高温声表面波传感器的研究与制作
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124. 基于AlN压电薄膜的耐高温声表面波传感器的研究与制作
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125. 基于AlN压电薄膜的耐高温声表面波传感器的研究与制作
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126. Cu对AlN/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响
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129. 刻蚀AlN缓冲层对硅衬底N极性n-GaN表面粗化的影响
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