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123. 基于MEMS器件的航向姿态测量系统的研究

124. 新型双驱动RF MEMS开关机电特性分析

125. 基于MEMS传感器的手势识别算法研究

126. 基于均匀设计的MEMS陀螺温度标定试验设计

127. 可刚性固定MEMS矢量水听器的设计

128. MEMS惯性器件误差分析与补偿方法研究

129. MEMS晶圆级测试系统现状及未来展望

130. MEMS扭转微镜温度效应的仿真分析

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