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1301. 一种面向MEMS矢量水听器的硅纳米线制备方法
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1302. 基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究
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1303. 利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动
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1304. 基于RF MEMS开关的4位分布式移相器的设计
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1305. 基于MEMS微镜的长波近红外光谱仪的设计与实现
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1306. 基于MEMS线阵的便携式中红外水中油浓度速测仪
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1307. 基于MEMS陀螺仪和加速度计的机器人定位系统研究
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1308. 混合式MEMS超级电容器的动力学建模与仿真方法
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1309. 基于LIGA-like工艺的柔性MEMS微电极加工技术研究
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1310. 基于MS-IMMIKF的MEMS陀螺输出信号消噪处理
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