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1323. 改进小波阈值法在MEMS陀螺随机误差分析中的应用
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1325. MEMS高g值加速度计动态线性校准装置设计及试验验证
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1326. UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响
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1330. 基于MEMS技术的摩擦电/压电复合柔性可穿戴能量采集器研究
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