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1322. 高可靠性RF MEMS单刀双掷开关设计及加工关键技术研究
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1324. 基于MEMS扩散硅压阻式压力传感器智能检测系统的研究
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1325. 具有硬弹簧非线性的MEMS振动式陀螺仪驱动模态控制方法（英文）
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1326. 基于导电聚合物柔性MEMS微电极的瘫痪康复可植入人工神经系统研究
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1327. 基于COMSOL的Ka波段分布式MEMS移相器的结构—热耦合分析
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1328. 基于动力学建模与MEMS技术的起重机制动下滑量检测系统研制
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1329. 基于钎料球重熔的MEMS微部件自组装及熔滴激光驱动行为
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1330. 高灵敏度MEMS加速度计亚波长光栅及柔性梁的设计与优化
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