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1341. 基于MEMS工艺的硅基毫米波铁氧体环行/隔离组件
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1342. 基于叉指电极的MEMS环境监测传感器关键技术研究
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1343. 面向MEMS产品概念设计的多模式实例检索与评价方法研究
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1344. 基于共面波导的RF MEMS可调带阻滤波器研究
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1345. 基于MEMS传感器的微小型无人机测控系统关键技术研究
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1346. 基于MEMS光源的三椭球体吸收腔室甲烷检测系统研究
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1347. 全球MEMS传感器技术创新现状与趋势——基于2000-2014年专利分析
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1348. 采用MEMS惯导的小口径管道内检测定位方案可行性研究
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1349. 基于MEMS技术的高密度视网膜假体柔性微电极阵列的研制
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1350. 基于反铁电薄膜的双稳态MEMS面内驱动器集成技术研究
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