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1351. 基于
MEMS
工艺的高场非对称性波形离子迁移谱仪的研究
1352. 基于
MEMS
电容加速度计的声矢量传感器小型化设计
1353. 基于
MEMS
的阵列式扫描探针显微镜测头理论与技术研究
1354. 基于
MEMS
传感器的哑铃动作识别与能耗计算系统的设计与实现
1355. 基于
MEMS
技术的仿生三轴向压阻矢量水听器的研制
1356. 超声键合振动与层间热应力对
MEMS
器件影响的研究
1357. 基于BLF技术的输出调节及其在
MEMS
扭转微镜中的应用
1358. 面向
MEMS
真空封装的3D纳米支架基吸气剂的制备和性能研究
1359. 基于
MEMS
技术的单刀双掷开关与可重构天线阵列的研究
1360. 基于
MEMS
传感器的机器人示教空间运动跟踪系统研究
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