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1401. 硅纤毛/纳米膜一体化集成的MEMS矢量水听器结构设计与工艺制备
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1402. 一种联合调制反馈和温度补偿改善闭环MEMS电容式加速度计漂移的方法（英文）
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1403. 基于MEMS传感器与Zigbee网络的人体手臂运动状态测量和识别方法研究
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1404. 阈值去噪与RBF神经网络在MEMS陀螺仪误差补偿中的应用
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1405. 带非局部非线性项的四阶抛物型MEMS方程的适定性研究
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1406. 基于高介电常数薄膜的MEMS静电式超级电容器制备及电学特性研究
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1407. MEMS加速度传感器在矿用随钻轨迹测量系统中的误差校正
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1408. 应用于外腔可调谐半导体激光器的MEMS静电驱动设计与仿真
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1409. 关键链技术在A研究所MEMS产品研制项目进度管理中的应用研究
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1410. MEMS加速度传感器全数字输出五阶静电力系统建模与仿真
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