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161. 一种MEMS陀螺仪温度漂移误差补偿方法

162. 基于MEMS传感器室内导航的系统设计

163. 基于真空电阻焊的MEMS器件级封装研究

164. 针对工艺偏差的MEMS器件结构参数优化设计

165. 面向MEMS红外光源的辐射增强结构设计

166. 基于MEMS的电磁激励谐振传感器研究

167. MEMS惯导系统的误差自修正技术研究

168. MEMS可重构带通滤波器设计

169. 基于MEMS组件的行人导航系统关键技术研究

170. 基于电容式MEMS器件的静电斥力驱动研究

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