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163. BDS/MEMS融合测姿算法研究

164. MEMS数字陀螺仪测试系统设计

165. 表面工艺静电驱动MEMS变形镜关键技术研究

166. MEMS穿孔板微执行器Pull

167. 基于电热驱动的MEMS继电器的研制

168. MEMS陀螺仪组合系统及滤波算法设计

169. 基于MEMS的皮拉尼真空压力计研究

170. MEMS数字陀螺中开关电容检测电路的设计

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