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181. 基于相移干涉法的MEMS离面运动测量

182. 基于MEMS工艺的陶瓷薄膜热电偶研制

183. 基于MEMS传感器的奶牛姿态识别研究

184. MEMS陀螺在片自动测试系统开发

185. 基于激光雷达的二维MEMS微镜驱动研究

186. 硅基压电MEMS球形矢量水听器设计

187. 旋转弹用MEMS陀螺结构优化及性能测试

188. BLE/MEMS融合定位技术的研究与实现

189. 激光雷达/MEMS微惯性组合室内导航算法研究

190. 基于MEMS惯性器件的行人导航技术研究

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