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11. MEMS万向惯性开关制作工艺研究

12. RF MEMS开关的性能研究

13. MEMS刻蚀工艺模型研究与仿真

14. 一种MEMS开关驱动电路的设计

15. 基于MEMS的超滑表面研究

16. 高频MEMS振荡器性能研究

17. MEMS微型惯性测量组合的标定

18. RF MEMS开关机电性能研究

19. MEMS加工技术综合性实验

20. 引信用MEMS惯性开关技术研究

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