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al 4h-sic
201. 基于
AlN
压电薄膜的耐高温声表面波传感器的研究与制作
202. 基于
AlN
压电薄膜的耐高温声表面波传感器的研究与制作
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压电薄膜的耐高温声表面波传感器的研究与制作
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205. Cu对
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/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响
206. AlGaN/
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207. 采用湿化学法以固体含氮有机物为氮源制备
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208. 氢钝化
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209. 刻蚀
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210. 基于第一性原理的M n+1
AlN
n 相陶瓷物相稳定性和性能预测
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