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261. MEMS捷联惯导减振系统设计方法研究

262. 参数激励法提高MEMS环式陀螺性能的研究

263. 热失配对MEMS上层芯片变形的影响和测量

264. 飞法级MEMS电容型传感器读出技术研究

265. 用于生物超快电镜的MEMS实验腔研究

266. 尺度效应下功能梯度MEMS微板力学特性研究

267. MEMS捷联惯导系统的初始对准技术研究

268. 复合结构压阻式MEMS压力传感器研究

269. 基于射频MEMS开关的衰减器关键技术研究

270. 基于LabVIEW的MEMS陀螺半实物仿真系统设计

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