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281. 电容式MEMS环形振动陀螺结构设计及加工

282. 精密单点定位与MEMS IMU组合导航系统应用

283. 带边缘场的分数阶MEMS方程的研究

284. 基于MEMS惯性传感器的井下人员定位系统

285. MEMS微桥结构设计与光刻工艺参数优化

286. 基于MEMS数字麦克风阵列的声源定位系统

287. 基于正交误差对准的MEMS陀螺测控电路设计

288. 基于MEMS技术的集成LED微阵列器件研究

289. MEMS温度传感器中ICP刻蚀技术研究

290. 盘结构电容式MEMS谐振器相关性能研究

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