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321. 一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

322. 非硅MEMS器件微装配系统的动静态特性分析

323. 用于细胞导入的MEMS聚焦超声波器件的研究

324. 基于MEMS技术的柔性多触点深部脑刺激电极研制

325. 引信用MEMS微驱动器的设计与仿真分析

326. 一种防倾斜MEMS平行板静电执行器（英文）

327. 引信用MEMS万向惯性开关的结构设计与优化

328. 表面粘贴式MEMS应变传感器的应变传递分析

329. 一种低噪声MEMS加速度计设计与制作

330. 基于物联网的MEMS加速度计测试分析系统设计

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