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361. 基于MEMS的小型化圆时栅传感器研究

362. 一类MEMS谐振器非线性动力学研究

363. 基于MEMS的帕金森病人体姿态分类监测系统

364. 基于先验知识、实时态势感知、交互学习的MEMS仿生个体

365. 多铁纳米MEMS传感器性能测试系统设计

366. 基于MEMS微针的新型驱动机构的设计与仿真

367. 基于MEMS的旋翼无人机控制系统的研究

368. 面向芯片原子钟应用的MEMS气室关键技术研究

369. 高精度MEMS微惯性姿态系统的设计与实现

370. MEMS陀螺仪误差机理分析及测试方法研究

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