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361. 高精度MEMS加速度计中欧姆接触工艺研究

362. 串联电容对MEMS扭转微镜吸合角的影响

363. 新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计

364. 基于MEMS的固体燃料微推进技术研究进展

365. 基于MEMS惯性传感器的人体多运动模式识别

366. 一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

367. 非硅MEMS器件微装配系统的动静态特性分析

368. 用于细胞导入的MEMS聚焦超声波器件的研究

369. 基于MEMS技术的柔性多触点深部脑刺激电极研制

370. 引信用MEMS微驱动器的设计与仿真分析

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