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381. 基于真空电阻焊的MEMS器件级封装研究

382. 针对工艺偏差的MEMS器件结构参数优化设计

383. 面向MEMS红外光源的辐射增强结构设计

384. 基于MEMS的电磁激励谐振传感器研究

385. MEMS惯导系统的误差自修正技术研究

386. MEMS可重构带通滤波器设计

387. 基于MEMS组件的行人导航系统关键技术研究

388. 基于电容式MEMS器件的静电斥力驱动研究

389. MEMS微镜扫描激光雷达发射光学系统设计

390. 基于FPGA的MEMS航姿测量系统设计

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