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391. MEMS微机械结构受冲击力学分析

392. 压电式MEMS一维矢量水声传感器研究

393. MEMS惯性测量单元全参数标定方法研究

394. MEMS微镜电热传输特性的研究与应用

395. MEMS微镜电热传输特性的研究与应用

396. 基于MEMS微镜的量子点薄膜成像研究

397. 基于MEMS陀螺的地平仪设计与实现

398. MEMS矢量水听器的优化设计与实现

399. 基于相移干涉法的MEMS离面运动测量

400. 基于MEMS工艺的陶瓷薄膜热电偶研制

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