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391. 原位MEMS液体和电学TEM芯片的研制与应用

392. MEMS薄膜的断裂强度测试结构和提取方法研究

393. 基于UWB/MEMS的高精度室内定位技术研究

394. 基于MEMS技术的直流电渗流微泵的研究

395. 基于MEMS传感器阵列式运动信息获取系统的设计

396. 硅基MEMS微波带通滤波器的设计及制备

397. 小量程MEMS电容式压力传感器设计与工艺研究

398. 高功率容量电容式RF MEMS开关失效机理研究

399. 基于MEMS技术的质点振速传感器的研制

400. 基于MEMS辅助的单基线北斗融合测姿算法

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