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421. 压电式
MEMS
面内横向驱动器的研究
422. 基于IMU旋转的
MEMS
器件误差调制技术研究
423. 可调谐
MEMS
谐振器关键技术研究及应用
424.
MEMS
在片测试系统电容参数校准技术研究
425. 基于射频
MEMS
开关的多频可重构天线
426. 足部安装
MEMS
-IMU个人导航系统
427. 一种新的
MEMS
陀螺温度误差建模与补偿方法
428. 宽带高增益双层硅基
MEMS
微带天线阵列(英文)
429. 基于
MEMS
技术的吊钩运动姿态传感器研究
430. 基于优化KF的
MEMS
陀螺阵列信号融合方法
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