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441. 原位
MEMS
液体和电学TEM芯片的研制与应用
442.
MEMS
薄膜的断裂强度测试结构和提取方法研究
443. 基于UWB/
MEMS
的高精度室内定位技术研究
444. 基于
MEMS
技术的直流电渗流微泵的研究
445. 基于
MEMS
传感器阵列式运动信息获取系统的设计
446. 硅基
MEMS
微波带通滤波器的设计及制备
447. 小量程
MEMS
电容式压力传感器设计与工艺研究
448. 高功率容量电容式RF
MEMS
开关失效机理研究
449. 基于
MEMS
技术的质点振速传感器的研制
450. 基于
MEMS
辅助的单基线北斗融合测姿算法
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