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463. 基于MEMS传感器的道面坡度提取技术研究

464. 基于MEMS技术低交叉干扰空间磁矢量传感器研究

465. MEMS风速敏感装置在高速飞行体上的应用

466. 基于MEMS的轻量型位姿测量系统关键技术研究

467. 基于氮化铝的压电谐振式MEMS加度计研究

468. 非晶合金MEMS引信安全机构超塑性成形的关键技术研究

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