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491. MEMS半球谐振陀螺仪三维对称谐振子工艺研究

492. MEMS加速度传感器及其调理电路测试技术研究

493. 基于有限元方法的MEMS器件封装可靠性研究

494. MEMS压力传感器芯片的数字信号调理与设计实现

495. 基于MEMS技术的单光纤内窥镜扫描探头研究

496. 弱小力对MEMS扭转微纳镜影响的建模仿真

497. 多MEMS监测系统温度补偿及在猴子岩大坝应用

498. MEMS惯性传感器中通用数字信号处理芯片设计

499. GNSS/MEMS INS深组合导航及其完好性监测

500. 柔性MEMS流速传感器的测控电路设计与实验

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