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501. 柔性MEMS流速传感器的测控电路设计与实验

502. 低g值惯性延时电热MEMS安全与解除保险装置

503. 基于低成本MEMS的SINS/GPS组合导航算法研究

504. 基于电化学微细加工的MEMS能量采集器研究

505. 我国工程管理硕士(MEM)专业学位国际认证路径研究

506. 基于模态切换技术的MEMS轴对称谐振陀螺测控系统研究

507. 基于MEMS技术的SOI微加速度计的研究与设计

508. MEMS高g值加速度传感器的失效分析

509. 集成式MEMS-FAIMS芯片设计与工艺技术研究

510. 基于硅MEMS工艺的窄带带通滤波器的设计

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