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501. MEMS加速度传感器信号处理电路设计

502. MEMS片上绝缘性能测试高阻标准件研制

503. 硅基共面波导RF MEMS开关设计关键技术研究

504. 基于MEMS惯性测量单元的多源信息自适应步数检测方法

505. 基于MEMS传感器的高精度行人导航算法研究

506. MEMS谐振式压力传感器谐振器设计与分析

507. 基于MEMS技术的植入式柔性多触点平面电极阵列

508. 一维MEMS矢量水听器的结构设计与工艺制备

509. 基于MEMS传感器的道面坡度提取技术研究

510. 基于MEMS技术低交叉干扰空间磁矢量传感器研究

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