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511. MEMS-INS/GNSS组合导航系统研究
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512. MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析
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513. Ni、Bi合金化对含长周期堆垛有序结构相Mg 96.5 Y 1.5 Zn 1 Mn 1 合金组织和性能的影响
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514. 压电/磁电复合式MEMS振动驱动微能源的研究
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515. 仿真人体环境中RF MEMS电感耦合特性实验研究
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516. 基于ADIS16488 MEMS惯性组合姿态测量设计与研究
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517. Bimorph结构MEMS微镜热驱动性能分析研究
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518. 基于MEMS惯性传感器的空中输入笔研究
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519. MEMS惯性器件的数据采集与误差分析技术研究
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520. 压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器的研制
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