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511. 宽响应范围的
MEMS
热电偶真空度传感器
512. 基于
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nO压电薄膜的柔性
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超声波换能器
513. 石英
MEMS
传感器芯片与盒盖封装的热应力分析
514. 一种新的硅
MEMS
陀螺仪四相位闭环集成驱动电路
515. 大量程闭环
MEMS
加速度计非线性分析与优化法
516. 基于支持度和自适应加权的
MEMS
陀螺信息融合算法
517.
MEMS
振荡器的温度补偿和低噪声频率合成特性
518. 电磁式
MEMS
扭转微镜的建模与闭环控制研究
519. 基于
MEMS
与智能手机电子罗盘的室内定位与导航算法研究
520. 基于Parylene封装的“棒棒糖式”
MEMS
矢量水听器
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