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511. 基于
Z
nO压电薄膜的柔性
MEMS
超声波换能器
512. 石英
MEMS
传感器芯片与盒盖封装的热应力分析
513. 一种新的硅
MEMS
陀螺仪四相位闭环集成驱动电路
514. 大量程闭环
MEMS
加速度计非线性分析与优化法
515. 基于支持度和自适应加权的
MEMS
陀螺信息融合算法
516.
MEMS
振荡器的温度补偿和低噪声频率合成特性
517. 电磁式
MEMS
扭转微镜的建模与闭环控制研究
518. 基于
MEMS
与智能手机电子罗盘的室内定位与导航算法研究
519. 基于Parylene封装的“棒棒糖式”
MEMS
矢量水听器
520. 冲击载荷下
MEMS
微加速度计的结构可靠性研究
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