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521. 复合式MEMS水听器的设计

522. MEMS惯性组件的误差特性分析与标定

523. 基于MEMS的微型惯性导航技术综述

524. 基于MEMS陀螺仪的随机误差分析

525. 基于MEMS工艺太赫兹倍频器研究

526. MEMS陀螺仪冗余配置故障检测方法

527. 基于MEMS技术的无线空中鼠标的研究

528. MEMS-IMU标定补偿技术研究

529. MEMS可调谐平顶窄带光学滤波器

530. MEMS扭转微镜的滑模控制研究

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