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521. 新型
MEMS
压电谐振器若干问题的仿真与研究
522. 一种低成本自适应的
MEMS
陀螺温度补偿方法
523. 三轴
MEMS
陀螺井下寻北的旋转在线校准研究
524. 基于
MEMS
技术的载体催化甲烷检测元件制作方法
525. 基于亚像素定位匹配算法的
MEMS
面内运动测量
526. 基于
MEMS
开关的方向图可重构天线实验研究
527.
MEMS
三轴加速度计6位置标定方法的研究
528. 基于
MEMS
微屏蔽传输线的移相器研究
529. 高精度
MEMS
加速度计中欧姆接触工艺研究
530. 串联电容对
MEMS
扭转微镜吸合角的影响
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